R&D 분야

고객의 성공을 지향하는 글로벌 선도기업

미래 확보 기술

Si

18인치 웨이퍼용 Cathode 및 Ring 등 개발 기술 ( 가공 / 세정 )
Quartz

18인치 웨이퍼용 GDP 및 Ring 등 개발 기술 ( 가공 / 세정 )
SiC

SiC Boat 개발 기술 ( Slot 가공 / CVD 코팅 / Pedestal 가공 )

New RB SiC 개발 기술 ( 소재 제조 / 가공 )
Fine
Ceramics

AlN Heater 개발 기술 ( Body 제조 / Body shaft 접합 / 가공 )

ESC 개발 기술 ( 소재 / 코팅 / 가공 / 이종접합 )

Si₃N₄ 개발 기술 ( 실리콘분말 개발 / 처리 조건 최적화 / 적층 기판 제조 )

YAS 개발 기술 ( Frit 제조 / 소재 가공 )