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특허 제10-0901517호, 특허 제10-0867961호

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작성자 최고관리자 댓글 0건 조회 89회 작성일 20-03-27 10:19

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특허 제10-0901517호  플라즈마 챔버 캐소드의 볼트 체결구 및 그 체결방법    

특허 제10-0867961호  알파형 SiC. 베타형 SiC 결합형 반응소결 SiC 소재와 제조방법 및 그 소재를 이용한 이체형 플라즈마 챔버 캐소드